（原标题：吊唁j9九游会，ASML的伟大发明家升天）
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跟着埃里克·卢普斯特拉的升天，ASML 和蔡司失去了一位伟大的系统架构师和发明家。这位来自弗里斯兰的工程师领有 280 多项专利。“总计要害的 ASML 家具都带有埃里克的印章。”
多年来，Erik Loopstra 一直是 ASML 在费尔德霍芬工程部门的推能源之一。好多（前）同事都以为他是这家光刻公司机器开发的推进者，直到 2018 年他与蔡司公司配合，推进了那里的机电一体化能力。本年早些时候退休的 Martin van den Brink 常常与客户筹商，连气儿商场和时候，而 Loopstra 则是公司里面的推进者之一。
通盘高技术行业都知说念 Loopstra 的名声，但对于外界来说，他耐久以来一直保持着隐形。这十分合适他。“他与时候内行相处得很融洽，”连年来在蔡司与 Loopstra 关系密切的 Wilbert Kohler 说说念。“往常，与他同级别的东说念主不再有这种关系，因为他们在‘无出其右’太久后，在某个时候失去了筹商。”据 Kohler 称，Loopstra 即是一个典型的例子，他固然束缚提升，但仍然十分夷易近东说念主，这有助于找到好的科罚有运筹帷幄。“因为归根结底，一切都取决于团队配合。”
当他被推到聚光灯下时，卢普斯特拉会感到昭着不安详。比如在 2018 年欧洲发明家奖世界奖提名的宣传之旅中，他初度引起了公众的正式。他舒坦地隐忍着这些时刻。“咱们开打趣说，超模的生涯比工程师的生涯珍摄得多，”与他一说念获奖的瓦迪姆·巴尼内说。“咱们没有益志到拍几张好像片和录制一段视频要花若干时刻。”通过与伴侣一说念进行的宣传之旅，巴尼内说，他还从另一面了解了卢普斯特拉，“一个怜惜的丈夫”。
严肃厚爱
“埃里克是一位凸起的系统工程师，为 ASML 的好多要道时候作念出了广泛孝敬，”ASML 的一份新闻稿写说念，该公司很少布告职工退休或升天的音信。时候诳骗 Jos Benschop 示意：“很少有东说念主像埃里克一样为 ASML 的告捷作念出了如斯大的孝敬。他的兴趣心、劲头以及将瞻念察力升沉为本色突破的能力使他成为咱们有史以来最优秀的机器制造商之一。他是咱们好多东说念主的灵感开端，咱们将十分想念他。”
和 Van den Brink 一样，Loopstra 亦然 ASML 求实开发文化的代表。他的办公桌上放着一棵 Efteling 游乐土的童话树的微缩模子。每当样貌充满瞎想和但愿，或者征询中东说念主们无法充分阐明我方的不雅点时，他就会指着它。“Erik 老是能十分详实地指出这极少，”一位汲取采访的东说念主说。“若是你对某件事不笃定，或者无法很好地阐明它，他就会十分寻衅。”
好多东说念主提到他曾说过的名言，举例“匡助唯有在灵验时才是匡助”和“东说念主多力量大”。他的“今天能让别东说念主作念的事情，不要拖到未来”有点像 ASML 的格言。
“Erik 是一位才华横溢的时候东说念主员，领有极强的瞻念察力和创造力，”Hans Sluiters 说说念。行动工程公司 CCM 的别称职工，Sluiters 在 20 世纪 90 年代相识了 Loopstra。“除了 Van den Brink，他是独逐一个了解总计机器模块过火接口的东说念主。他十分专注，从不健忘筹算，那即是机器必须以轻佻正常的模式尽快送到客户手中。”对于 Loopstra 的挑战模式：“怕死鬼和自爱心受挫的东说念主说他效法了 Brink 的格调，但在我看来，事实并非如斯；他直肠直肚，令东说念主生畏，但饱胀真实。”
往常的时候员
Erik Loopstra 出身于一个弗里斯兰家庭，在北荷兰省的一个小墟落长大。20 世纪 80 年代初，他毕业于代尔夫特 Dedde de Jong 素养的细巧机械工程专科。随后，他先后在多德雷赫特和海尔伦的飞利浦公司就业，负责 LCD 娇傲器考研工场的坐褥设备。在 Centurion 重组时期，Jan Timmer 割断了这条考研坐褥线，Loopstra 于 1991 年转入 ASML，成为别称设备工程师。
在 ASML，Loopstra 很快成长为别称时候全面的时候东说念主员，他不仅醒目铁心工程，还醒目光学。“他的学习能力令东说念主惊叹，”与他一说念在 EUV 光刻畛域就业多年的 Vadim Banine 回忆说念。“Erik 不是物理学家。起始，他在物理问题中使用了完全失误的单元，但两周后，他用我方学到的常识让一位专科物理学家取代了他。”
马丁·范登布林克对 Loopstra 的见地印象真切。“举例，令我讶异的是，他确实地知说念自行车踏板的螺纹是什么以及为什么。”范登布林克向多达 30 名机械工程师问过雷同的问题。“也问过最机灵的东说念主。埃里克是独逐一个能告诉我的东说念主。”
系统念念想家
Loopstra 的学习能力令其他同事歌唱不已。他所作念的每件事他都想一探究竟。这种特色，加上他的表面和推行天禀，使他成长为别称跳跃的系统架构师。“Erik 十分有力头，擅长诱骗精致的系统架构，”同事 Hans Vermeulen 说。他受雇于飞利浦制造时候中心 (CFT)，在 EUV 早期与 Loopstra 配合联想了第一个 EUV alpha 演示器用的架构。“领先，他的就业有些安静，但也十分抉剔，珍视细节。”
兼职素养 Vermeulen 在 2016 年的赴任演讲中称 Loopstra 是他的榜样之一。“对他来说，莫得什么挑战是无法克服的。他的念念考和退换速率、往常的系统常识、敏捷的放大和减弱能力以及创造力使他成为我的榜样，激励着我。”
Jan van Eijk 在代尔夫特 De Jong 的团队担任学生导师时相识了年青的 Loopstra，他也主要将他视为系统念念想家。“Erik 热烈相持系统智力。他往常参与工程和科学的各个方面。逐时势，他设法让我方身边围绕着一些知说念如安在不同畛域作念出正确解释的要道工程师。”
在 ASML 就业的早期，Loopstra 是 PAS 5500 团队的一员，他匡助将全新的模块化机器联想进入坐褥。凭借 PAS 5500，这家总部位于 Veldhoven 的公司在 1993 年真确登上了半导体行业幅员。而后，Loopstra 参与了险些总计要害的机器开发，包括 20 世纪 90 年代后半期 PAS 5500 向步进扫描系统的演变、千禧年后推出的带有两个晶圆台的 Twinscan、随后升级为浸没式以及引入 EUV。Banine说：“总计主要的 ASML 家具都带有 Erik 的印章。”
2018 年的 Erik Loopstra。这组像片来利己欧洲发明家奖世界奖提名而创作的宣传材料，他最终与 Vadim Banine 一说念取得了该奖项
不胜一击
20 世纪 90 年代末，飞利浦 CFT 仍在为 ASML 进行初步开发。除其他事项外，该公司还研究了 PAS 5500 的步进扫描旨趣。Loopstra 参与了 ASML 的这些样貌。他渐渐发达了诱骗作用，并与 Jan van Eijk 和 Ton Peijnenburg 密切配合。“连气儿几个月，咱们每周都会与 Martin 和 Erik 征询规格，”Van Eijk 回忆说念。
行动一个说明性的例子，Van Eijk 提到了对于光罩台（用于移动与扫描晶圆台相对的重型掩模）最大加快度的征询。“在第一台扫描仪中，咱们结束了 30 m/s2。对于 Twinscan，咱们 CFT 想要达到 50 m/s2，但 Erik 称这是怕死鬼的规格。那是怕死鬼的玩意儿。他想达到 80 m/s2。临了，第一代的速率仍为 50 m/s2，但 Erik 不胜一击，当今，咱们议论的是 200 m/s2。”
借助 Twinscan，Loopstra 为均衡质地系统和长行程与短行程平台的激光插手仪的开发作念出了孝敬。对于 EUV alpha 演示器用，平面电机和真空时候是主要挑战。对于High NA，则是极快的平台和大型扫描光学系统。此外，对于High NA，必须诱骗十分往常的计量系统来测量皮米级的多层镜。行动开发诱骗者之一，Loopstra 匡助塑造了它。“我竭力于畴昔，”他在 2009 年汲取荷兰报纸《埃因霍温日报》采访时说说念，“研究当今尚不存在但几年后可能会出现的机器。”
完全奉献
行动一个天生具有突破界限的能源的东说念主，Loopstra 主要在新系统的办法阶段被使用。“行动一个有创造力的东说念主，他在开发的后期就没那么灵验了，”Van Eijk 说。“在阿谁时候，他想出更好替代有运筹帷幄的倾向妨碍了结束所选的科罚有运筹帷幄。”
Loopstra 最受尊敬的是他在 EUV 方面的创始性就业。为此，他和 Vadim Banine 于 2018 年取得了欧洲发明家奖的世界奖。Banine 挑剔说：“Erik 全身心性进入到家具开发中。莫得什么是无法科罚的。他克服了总计珍摄。这是创始性、广泛能源、高度专注和尽心进入的王人集。”
回归往常，Van Eijk 将 Twinscan 的开发视为 Loopstra 最要害的孝敬。“对于 Twinscan，他竭力推进结束具有 3D 均衡质地的晶圆台，”他理解说念。“这在开发的第一阶段是过度的，因为触及的加快度相对较低。2D 科罚有运筹帷幄更通俗、更低廉。”但据 van Eijk 说，Loopstra 想要更多。“他推进了 3D 科罚有运筹帷幄，并说‘若是事实证明咱们不需要它，咱们不错随时将其锁定在旋转中。’”锁定旋转的实验太难了，从未完成，但 3D 版块当今对 ASML 来说是不成或缺的。EUV 机器以机电一体化为基础，Erik 也为此作念出了广泛孝敬。”
Loopstra 也鼎力复旧平面引擎的引入。在这里，前驱原则的取舍再次显得不那么昭着。Van Eijk：“在履历了一些阻力之后，ASML 才聘用并告捷奉行了这一办法。”
赢得尊重
为了匡助蔡司（有些东说念主以致在“匡助”一词上加了引号）结束高数值孔径 EUV 系统的翻新，Loopstra 向德国东说念主贴近。领先，他在 ASML 就业，负责照亮掩模版的光学元件和将光罩投射到晶圆上的光学元件。转投蔡司后，他参与了奥伯科亨制造经由中测量和草率高数值孔径镜子的大型系统。
2018 年，Loopstra 遥远移居德国，为蔡司提供了复杂机电铁心系统方面的常识提升。由于他意思往常，况且大要快速掌持光学等学科，因此这一举动“在咱们最近向高数值孔径机器翻新的布景下十分当然”，Martin van den Brink 说。
在蔡司，Loopstra 匡助开发了 ASML 配合资伴所需的 EUV 和高 NA 光学器件的测量时候。“王人集仿真，这让咱们在最近几个月创下了完好的光刻纪录：7 纳米线，定位精度为 0.5 纳米，”Van den Brink 指出。“Erik 在往常几年也为这一豪举作念出了孝敬。嗅觉他还在 ASML 就业，尽管他在蔡司就业。”
鲜为东说念主知的是 Loopstra 在收购好意思国光刻公司 ASML 后的头十年中积极参与了 SVG Wilton 并入 ASML 的经由。在此经由中，他匡助 Wilton 的能力提升到了刻下的水平：全面负责机器的尖端，包括光罩台。在圣地亚哥的 Cymer，Loopstra 参与了肖似的开发。Van den Brink：“Erik 满有足下地赢得了 Wilton、圣地亚哥和 Oberkochen 等新集团的尊重，充分说明了他无可争议的品性；他的推理时时十分令东说念主坚信。”
出奇羼杂
在奥伯科亨与 Loopstra 有过近距离战役的荷兰同事示意，他和 ASML 职工团队在公司激发了一场组织地震。“他是大要突破蔡司等第森严的壁垒并取得进展的凸起东说念主物，”一位目睹者说说念。“这是一种文化冲击。他们不以为这种牛仔文化在公司是可能的，即使他们与 ASML 打了 30 年交说念亦然如斯。他们严肃厚爱，不瞎掰八说念，只管去作念。”
德国东说念主示意，他们的履历略有不同。当蔡司的机电一体化团队得知埃里克·卢普斯特拉将与其他来私费尔德霍芬的工程师一说念赶赴奥伯科亨，聘用“一家公司的智力”，并在蔡司-ASML 羼杂团队中配合“为最终客户提供最好科罚有运筹帷幄”时，德国工程师领先记念会被荷兰东说念主收购。这些担忧很快就隐匿了。“埃里克赢得蔡司团队信任的速率确实太快了，”一位参与其中的工程师说。“恰是他特有的诱骗力、幽默感和敦厚，让他劝服了咱们，这种‘一家公司的智力’照实是一种很好的就业模式。他只花了不到两周的时刻。”
据这位蔡司职工说，Loopstra 给团队带来了活力。在征询可互换镜子时，德国工程师自但是然地将要点放在了风险和问题上。在屡次令东说念主消沉的对于可互换镜子是否可行的会议之后，“可互换”一词被赋予了负面含义。“Erik 在与 Martin van den Brink 的 ASML-Zeiss 接口会议上解释了他的办法，但他称其不是‘可互换’，而是‘咔哒咔哒’镜子，以论述更换镜子的速率有多快。从其时起，很昭着，咱们将开发可十分十分快速互换的镜子模块，”这位工程师回忆说念。“Erik 将这个主题从职责酿成了一个你不错从中取得乐趣的挑战。”
Loopstra 还援用了他在德国的绚烂性言论。为了在征询中以通达的心态处理问题，他使用了“一切皆有可能，但你可能不心爱结果”这句话，旨趣是“对新宗旨持通达立场，接洽结果，但不要让它们困扰你”。他的团队十分赏玩这极少，他们有一件印有这句话的 T 恤。据其中一位知情东说念主士清晰，Loopstra 团队成员第一次穿上这件玄色 T 恤是在一次界面会议上。“我嗅觉管制层中的一些东说念主正在挠头，怀疑咱们是不是走得太快了。”
熟习
蔡司公司早就意志到，公司需要更多具备时候诱骗能力的工程师来开发复杂的机电一体化系统。据公司里面东说念主士清晰，Loopstra 看到了培养年青系统工程师的契机，并收拢了这一契机。蔡司公司的管制层相识到他是别称优秀的熟习。岂论他在那儿就业，年青工程师都会得到栽培。
“他们意志到与埃里克同事是一件十分欢乐的事情，”一位躬行体验过此事的时候司理说说念。“与他同事的东说念主很快发现，行动别称工程师，单纯的时候能力并不及以给东说念主留住真切印象。你还必须敦厚，况且是一个长久不会健忘筹算的团队配合者。蔡司引入了积极的反应系统，当今有更多工程师的念念维模式和步履模式都归功于埃里克的请示。”
在他升天前几周，Loopstra 曾向 Van Eijk 孤高过这件事，而 Van Eijk 曾是他的学生导师，他曾说他“不太会请示别东说念主”。“Erik 告诉我他在蔡司公司担任有抱负的时候东说念主员的熟习，这让我很讶异。往常，他更有力头，莫得耐烦去请示别东说念主的学习经由。”
活力
早在 2000 年，Loopstra 就因其凸起的时候孝敬而取得招供。他被任命为首批两名 ASML 研究员之一。不到十年后，他成为该公司的首位高等研究员。2012 年，他取得了荷兰精密工程学会 (DSPE) 颁发的 Martin van den Brink 系统架构师奖。这是 DSPE 初度颁发该奖项，该行径险些完全献给同名东说念主物。Loopstra 本东说念主并不介意。他不是一个心爱出锋头的东说念主。2018 年，蔡司还在他入职后不久任命他为研究员，以赏赐他的创始性确立。
从个东说念主角度来说，Loopstra 与巴登-符腾堡州结下了不明之缘。他和夫人心爱这里的气候，于是在“东说念主迹罕至”的场所买了一座有 400 年历史的破旧农舍，里面有一个破旧的谷仓，距离奥伯科亨东部有半小时车程。这个个东说念主样貌很快在蔡司的同事中广为东说念主知。“他和夫人运转重建丑陋的谷仓，并进入了多数元气心灵进行翻修，”一位同事说。“看到他们两个的确立确实太棒了。Erik 为蔡司付出了 100% 以上的竭力，在业余时刻，他仍然有元气心灵矫正那栋老屋子。他有这样多的元气心灵确实令东说念主难以置信。”
https://bits-chips.nl/article/erik-loopstra-1957-2024-unrelenting-motor-of-asmls-machine-development/
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